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光源：
SPECTRO XEPOS采用端窗钯靶50W射线管。最多可装8个偏振靶和次级靶,可设定各种不同的激发条件，以确保对从Na到U的元素进行测定。
光闸系统：
可以确保在更换样品时无需关闭光管，从而提高了系统的稳定性。
检测器：
检测器采用目前的硅飘逸计数器。无论计数率如何变化，分辨率均保持一致。特别设计的准直器可显著改善信噪比。光谱分辨率小于160eV（以Mn ka线计）。计数率为120,000cps。在高计数率下仍有较高的分辨率，可缩短分析时间、提高分析准确度。
样品室
SPECTRO XEPOS的分析性能不仅取决于它采用了功能强大的分析部件及偏振技术，而且还取决于其精准的进样设计。德国斯派克分析仪器公司在开发SPECTRO XEPOS时就专门考虑到进样的问题。高精度样品交换器、新型样品盘的采用可大大减少机械和物力波动对测定的影响，改善分析结果。仪器配备样品旋转装置，可进一步改善测定不均匀样品以及表面不平整样品的分析结果。
不间断电源：
可以消除电源波动的影响，保证长期的稳定性和持久的X光管性能。
软件
SPECTRO XEPOS软件提供了一个简单明了、使用简便的操作界面。选定方法，输入样品识别信息，即可进行测定。通过完备的引导程序，操作者只需通过5个简单步骤即可创建新的分析方法。采用基本参数法或采用专门的SPECTRO TurboQuant软件，即可轻而易举的完成未知样品的分析。SPECTRO XEPOS可搭载预制的应用软件包。该应用软件包括一套在出厂前就安装和校正好的硬件和分析方法。适用于分析ROHS，废渣，垃圾，油，水泥， 炉渣等，SPECTRO XEPOS一机多用，是真正的多功能分析仪器。
技术参数：
1.功率50W，电压50KV，电流2mA
2.50W端窗Pd靶X光管
3.硅漂移计数器，分辨率小于170eV
4.3位置次级靶自动转换系统，即3束X激发光源。
5.可选真空、充气、常压系统
主要特点：
1.偏振X光激发样品，具有极低的背景，的灵敏度
2.真正意义的Na-U的全分析，无需滤光片。
3.分析的含量范围ppm级到
4.极为丰富的软件系统，提供各种方法及校正模式。
SPECTRO XEPOS可广泛地应用于石油、化工、冶金、矿业、制药、食品、环保、地质、建材、废物处理以及再加工工业等。以油中各种元素的分析为例。使用SPECTO XEPOS，在氦气保护状态下，在300秒钟之内，对于P、S、Cl、Ca、Cu、Zn、Ba的检测下限在1-7?g/g以上。
XEPOS型X射线荧光光谱仪可广泛应用于各种电子材料及塑料中铅、镉、（汞）等元素分析，检出下限低，灵敏度高、稳定性好，可应对欧洲WEEE、RoHS指令以及SONY STM-0083标准。